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第447章 大门突然被敲响(2 / 4)

佑的大脑中清晰可见。

“黄思白跟我讲的这些技术,确实都没有问题。”

通过严谨的模拟,徐佑确定了黄思白这些技术的真实性。

为了取得徐佑的信任,黄思白并没有对徐佑有任何的隐瞒,把自己了解到的东西,一五一十的都说给了徐佑。

从黄思白的讲述中,徐佑能够听出,这些技术并不是真正由黄思白自己研发出来的,更像是黄思白从某些渠道中得到的。

但对于徐佑来说,这些信息已经足够了。

在深度思考中,徐佑可以根据黄思白提供的信息,反推出更多有用的信息。

经过不断的模拟、计算、推演后,徐佑距离整套完善的euv光刻机技术,已经越来越近了。

包括硅片的表面清洗烘干、涂底、旋转光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀、检测等等多道工序,不断在徐佑的脑海中重演着。

不知经历了多少次的推演,徐佑还是没有根据自己大脑中模拟的euv光刻机,成功生产出合格的高精度芯片。

“不行……euv光源的技术,还没有很好的解决。”

在euv光刻机中,euv光源无疑是最核心的设备。

想要让光刻机高效的工作,需要有足够亮的euv光源才行。

在euv光源方面,黄思白提供了一些技术,但并没有彻底的解决问题。

“等一下……极紫外辐射的光谱,似乎还有继续优化的空间!”

这时,徐佑突然注意到。

在正常的激光最佳聚焦位置下,入射激光能量和等离子体之间缺乏有效的耦合。

而其中的原因,是因为在最佳聚焦位置处,聚焦光斑尺寸较小,激光聚焦锥角也较小,等离子体吸收的能量会局限在中轴附近,影响等离子体对激光能量的吸收。

换句话说,所谓的“激光最佳聚焦位置”,很可能并不是euv光谱强度最强的位置。

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